صفحه اصلی - محصولات - نیمه هادی - لوله کوره کوارتز - جزئیات

لوله فشار کوارتز

عملکرد برتر برای جایگزین های بوروسیلیکات یا فلز
ویژگی های خروجی عالی (کمتر یا مساوی 10-11 Torr·L/s·cm²)
حداقل انبساط حرارتی (0.55×10-6/ درجه)
هندسه های قابل تنظیم و گزینه های اتصال

ارسال درخواست

شرح

ویژگی های محصول

سازگاری فوق العاده-خلاء بالا:

طراحی شده برای عملکرد از فشار اتمسفر تا 10-6 Torr

مهندسی دقیق:

یکنواختی ضخامت دیوار در ± 0.1 میلی متر برای عملکرد ثابت

استقامت حرارتی:

یکپارچگی ساختاری را از -200 درجه تا 1000 درجه حفظ می کند

خلوص شیمیایی:

99.999٪ ساخت کوارتز ذوب شده با<1ppb metallic contaminants

شفافیت نوری:

>90٪ انتقال نور (190-2500 نانومتر) برای نظارت بر فرآیند

طراحی مقاوم در برابر فشار:

ساختار تقویت شده 2 بار اختلاف فشار خارجی را تحمل می کند

قابلیت های عملکردی

نگهداری و انتقال نمونه با خلاء بالا-
پردازش شیمیایی با فشار منفی
برنامه‌های کاربردی کوره‌های خلاء با دمای بالا-
اتاق های واکنش جو بی اثر
سیستم‌های تحویل گاز/بخار رایگان-نشتی

برنامه های کاربردی

تجهیزات ساخت نیمه هادی
سیستم های رسوب لایه نازک
تنظیمات تقطیر خلاء
اتاقک های نمونه ابزار تحلیلی
پردازش شیمیایی-با خلوص بالا
تولید فتوولتائیک

مزایا

عملکرد برتر برای جایگزین های بوروسیلیکات یا فلز
ویژگی های خروجی عالی (کمتر یا مساوی 10-11 Torr·L/s·cm²)
حداقل انبساط حرارتی (0.55×10-6/ درجه)
هندسه های قابل تنظیم و گزینه های اتصال

خواص

خواص فیزیکی	ارزش ها
خلوص	＞99.99%
تراکم	2.2 گرم در سانتی متر³
شفافیت	＞90%
سختی Mohs	5.5--6.5
نقطه تغییر شکل	1280 درجه
نقطه نرم شدن	1780 درجه
نقطه بازپخت	1250 درجه
گرمای ویژه (20 - 350 درجه)	670 ژول بر کیلوگرم درجه
هدایت حرارتی (20 درجه)	1.4 وات بر متر درجه
هدایت حرارتی (w/mk، 1000 درجه)	1.0-1.2
ضریب شکست	1.4585
ضریب انبساط حرارتی	5.5*10 ^-7سانتی متر بر سانتی متر درجه
دمای کاری داغ -	1750--2050 درجه
دمای سرویس کوتاه مدت -	1300 درجه
دمای سرویس طولانی مدت -	1100 درجه

خواص شیمیایی	ارزش ها
مقاوم در برابر اسید	اسید قوی (به جز HF)، قلیایی قوی، محلول آلی
درجه حرارت بالا مقاوم در برابر خوردگی	عالی
محتوای ناخالصی فلز	5 ppm

خواص الکتریکی	ارزش ها
مقاومت	7*10⁷Ω.cm
استحکام عایق	250 تا 400 کیلو ولت بر سانتی متر
ثابت دی الکتریک	3.7~3.9
ضریب جذب دی الکتریک	＜4*10^-4
ضریب تلفات دی الکتریک	＜1*10^-4

خواص مکانیکی	ارزش ها
مقاومت فشاری	1100 مگا پاسکال
مقاومت خمشی	67 مگا پاسکال
استحکام کششی	48 مگا پاسکال
نسبت پواسون	0.14~0.17
مدول یانگ	72000 مگا پاسکال
مدول برشی	31000 مگا پاسکال